پژوهشگران دانشگاه تهران دستگاهی برای تولید قطعات میکروالکترونیک با دقت یک میکرون و مجهز به 2 لنز تولید کردند که در فرآیند لیتوگرافی صنایع میکروالکترونیک به کار می رود و جزء اقلام تحریمی است.
به گزارش گروه دانش خبرگزاری دانا (دانا خبر) و به نقل از مهر، رضا عسکری مقدم - از محققان این پروژه تحقیقاتی- با بیان اینکه این دستگاه با عنوان "ماسک آی نر" طراحی و عرضه شده است، گفت: این دستگاه برای تطبیق ماسک (نقش) برای فرآیند لیتوگرافی در صنایع میکروالکترونیک و ادوات ممز ( سیستم های الکترونیکی و مکانیکی در ابعاد میکرو) استفاده می شود.
وی اظهار داشت: زمانی که می خواهیم قطعات میکروالکترونیک را تولید کنیم معمولا نیاز به چند لایه ماسک داریم که برای اینکه این لایه ها روی یکدیگر در ابعاد میکرو بر هم منطبق شوند نیاز به دستگاه ماسک آی نر داریم که در این پروژه موفق به طراحی این دستگاه شدیم.
عسکری مقدم با اشاره به عملکرد این دستگاه ادامه داد: طرح مورد نظر که نیاز است بر روی ویفرهای قطعات الکترونیکی منتقل شود ابتدا در ابعاد بزرگتر طراحی می شود و سپس همان طرح در ابعاد کوچکتر تهیه و توسط این دستگاه روی ویفرها منتقل خواهد شد.
وی با تاکید بر اینکه این دستگاه از بخش های اپتیکی، مکانیکی و الکترونیکی ساخته شده است، اضافه کرد: این دستگاه جز فناوری های پیشرفته است که به دلیل تحریم ها با محدودیت خرید آن مواجه هستیم و در این مطالعات تغییراتی در این دستگاه ایجاد کردیم تا متناسب با نیازهای کشور از آن بهره برداری شود.
این محقق با تاکید بر اینکه این دستگاه استفاده صنعتی دارد، افزود: از آنجایی که صنعت الکترونیک در کشور پیشرفته نیست از این دستگاه در بخش های آزمایشگاهی و تحقیقاتی استفاده می شود.
وی دقت بالای این دستگاه نسبت به نمونه های خارجی در عملیات تبدیل ماسک بر روی ویفرها را از مزایای مهم این دستگاه ذکر کرد و یادآور شد: علاوه بر آن، این دستگاه مجهز به لنز (چشم) است و می تواند به صورت جداگانه در قسمت های مختلف ویفر با هر سایزی را تطبیق دهد.
عضو هیات علمی دانشکده علوم و فنون نوین دانشگاه تهران با تاکید بر اینکه دستگاه ماسک آی نر تولید شده در ابعاد صد در صد نور دارد، توضیح داد: عمل حک نقش بر روی ویفر سیلیکونی فرآیندی دارد که بخش اصلی آن با استفاده از نور در فرکانس های ماورا بنفش انجام می شود. این نور باید یکنواخت باشد و هر چه سطح انتشار نور بیشتر باشد، نمونه بزرگتری را می تواند پوشش دهد که در این دستگاه پوشش صد در صدی دارد.
وی با بیان اینکه نمونه بومی سازی این دستگاه برخی از آپشن های نمونه خارجی را ندارد، خاطر نشان کرد: این دستگاه بخش هایی چون میز ضدلرزه و فرآیند اتوماتیک بر روی آن اضافه نشده است ولی بر اساس نیاز مشتری این موارد قابل اضافه کردن به دستگاه است.
عسکری مقدم در خصوص دقت این دستگاه در صورت نداشتن میز ضدلرزه یادآور شد: داشتن میز ضدلرزه برخی از مشکلات را در انجام آزمایش ها برطرف می کند و کیفیت انجام کار را ارتقا می دهد ولی از آنجایی که این کیفیت خیلی زیاد نیست از این رو بر اساس نیاز مصرف کننده می توان این میز را به آن اضافه کرد.
وی دقت سیستم انتقال این دستگاه را یک میکرون دانست و گفت: این دستگاه قابلیت اتصال به کامپیوتر برای فیلم گرفتن از پروسه تطبیق یا عکسبرداری از نمونه در حین عمل تطبیق نقش بر روی ویفر را دارد.
به گفته این محقق نمونه خارجی این دستگاه 150 هزار دلار است که در این طرح تحقیقاتی ساخته و یک نمونه از آن فروخته شده است.
